FT1熱式氣體質量流量計
流量精度:空氣:± 1%讀數 , ± 0.5%滿量程
其他氣體: ± 1.5%讀數 , ± 0.5%滿量程
精度規格適用於客戶選擇的流量範圍
最大範圍:15至15,000 SFPM(0.07至71 NMPS)
最小範圍:15到1,000 SFPM(0.07到4.7 NMPS)
直管要求:上游15倍直徑; 下游10倍直徑。
溫度精度:± 1 ℉(± 0.6 ℃)
Gas-SelectX® 氣體選擇:
空氣,氬氣,丁烷,二氧化碳,甲烷,天然氣,氮氣,氧氣,氦氣,氫氣,丙烷,3種氣體的混合物(此列表中的任何三種氣體等於100%)。
ft1-datasheet.pdf