FT3 Fox 熱式氣體質量流量計

描述

流量精度：
內聯管路式儀表：讀數的 ± 1% ± 0.2% F.S
插入式儀表：讀數的 ± 1% ± 0.2% F.S
直通暢通的管道要求：
˙內聯管路式：上游 8 個直徑；下游4 個直徑。
˙插入式：上游 15 個直徑；下游10 個直徑 。
˙插入（1/4″ 尺寸）：6″ (152mm) 上游和下游
流量重複性：滿量程的 +-0.2%
流量響應時間：0.9 秒（一個時間常數）
溫度精度：
± 1.0℃（-40 至 121℃）； ± 2.0℃（121 至 343℃）；
最低 60 SFPM。